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詳細內容 |
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設備參數:
指標 |
參數 |
指標 |
參數 |
晶體直徑 |
φ8"/φ14" |
熔料量 |
380Kg |
主爐室尺寸 |
φ900×1250mm |
翻板閥通徑 |
φ420mm |
拉伸腔尺寸 |
φ450×2270mm |
電源 |
3相380V±10%,50HZ |
變壓器容量 |
230KVA |
冷爐極限真空度 |
3Pa |
加熱器最大加熱功率 |
150KVA |
加熱器最高加熱電壓 |
60V |
主機最大高度 |
7200mm |
籽晶拉速范圍 |
0~12.5mm/min |
籽晶快速范圍 |
≥400mm/min |
籽晶轉速范圍 |
0~50R/min |
坩堝升速范圍 |
0~2mm/min |
坩堝快速范圍 |
≥100mm/min |
坩堝轉速范圍 |
0~20R/min |
籽晶提升有效行程 |
2250mm |
坩堝升降有效行程 |
400mm |
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主機占地面積 |
2700mmX1500mm |
整機占地面積 |
5500mmX3000mm | |
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評論 |
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